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上银线性导轨测量技术与选材

时间:   来源: 创威达传动科技   浏览量: 338 次

   近年来,数控技术的飞速发展刺激了上银线性导轨市场需求的增加,但同时也对其精度、速度、行程和可靠性提出了更加严格的要求。
 
   高精度、高速、大行程也对控制系统的实时控制提出了巨大的挑战。在工作过程中,为了保证精度,工件台的任何位置都需要实时控制。当精度越高,行程越大,速度越高,控制系统需要处理的数据量和速度将增加。
 
   如果工作台的驱动方式是直接驱动而不是间接驱动,则通过减小传动链的长度和传动链中的误差传递,可以提高工作台的精度、速度和加速度性能。因此,如果上银线性导轨能够及时地引用新材料和新技术,就可以在很大程度上满足工作台开发的需要。
 
   1、测量技术。
   大行程测量方法在上银线性导轨主要包括光栅测量和激光干涉仪测量。光栅的测量是通过记录莫尔干涉条纹的静态光栅尺的运动和运动的光栅尺位移产生的数量。目前,光栅测量可以达到纳米级的分辨率,测量精度为0.01 5m。100 mrno激光干涉仪的测量范围是根据激光在真空中波长。测量精度高,量程大。可实现非接触式测量。测量的最大速度大于光栅测量的最大速度,安装时容易消除。Abbe误差等优点使其更适合于高精度测量。目前,商业化的双频激光干涉仪已在国外先进的光刻机中得到应用。
 
   2、材料。
   工作台中使用的材料直接影响工作台的性能。例如,应尽量使用低密度和高刚度材料。这可以降低系统的重量,提高整个系统的刚度,从而提高工作台的动态性能。因此,铝合金,具有密度小、弹性模量大碳化硅等材料通常使用;为了减少温度的影响,对工作台的精度、振动等外部环境,严格的温度控制和振动隔离措施的环境下工作台定位;在工作台测量系统,尹钢经常用来作为基础,并采用零膨胀。玻璃被用作参考材料。近年来,研究人员已经用微晶玻璃(一种微晶玻璃)制备与低的膨胀系数和良好的加工性能实验台测量部分和其他重要部分。
 
   以上是上银线性导轨测量技术与选材,同时它也决定上银线性导轨发展的方向。

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