1.导向精度高导向精度即导轨运动轨迹的准确程度，是导轨副的重要精度指标。运动件的实际运动轨迹与给定方向之间的偏差越小，则导向精度越高。影响导向精度的主要因素有:导轨承导面的几何精度、导轨的结构类型、导轨副的接触精度和表面粗糙度;导轨和支承件的刚度;导轨的油膜厚度和油膜刚度;导轨和支承件的热变形等。
2.移动灵敏度和定位精度均高移动灵敏度(移动分辨率)指工件台完成一次移动能达到的最短距离，定位精度指工件台由运动状态停止在某一指定点的能力。移动灵敏度和定位精度与导轨的类型、摩擦特性、运动速度、传动刚度、移动件质量等因素有关。
3.具有受导轨的结构、导轨副材料匹配、润滑状况、润滑剂性质及导轨运动传动系统的刚度等因素影响并低速运动的平稳性低速运动的平稳性即在低速运动或微量移动时不发生爬行等不连续运动的现象。
4.刚度大导轨受力后的变形将影响部件之间的相对位置和导向精度。刚度对高精度机械和仪器影响是很大的。
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