1.导向精度高导向精度是指导轨运动轨迹的准确程度，它是导轨副的重要精度指标。运动件的实际运动轨迹与给定方向之间的偏差越小，则导向精度越高。影响导向精度的主要因素有:导轨承导面的几何精度、导轨的结构类型、导轨副的接触精度和表面粗糙度;导轨和支承件的刚度;导轨的油膜厚度和油膜刚度;导轨和支承件的热变形等。导轨的几何精度一般包括导轨在垂直平面、水平平面内的直线度和两条导轨面间的平行度或两导轨面间横向某长度的扭曲值。
2.移动灵敏度和定位精度均高移动灵敏度(移动分辨率)指工件台完成一次移动能达到的最短距离，定位精度指工件台由运动状态停止在某一指定点的能力。移动灵敏度和定位精度与导轨的类型、摩擦特性、运动速度、传动刚度、移动件质量等因素有关。
3.具有低速运动的平稳性低速运动的平稳性，是指导轨在低速运动或微量移动时不发生爬行等不连续运动的现象。它与导轨的结构、导轨副材料匹配、润滑状况、润滑剂性质及导轨运动传动系统的刚度等因素有关。
4.刚度大导轨受力后的变形将影响部件之间的相对位置和导向精度。刚度对高精度机械和仪器尤为重要。
5.抗振性好杭振性主要是指抗受迫振动的能力和抗自激振动的能力。对于闭环控制系统来说，不仅要求导轨对启动、制动的跟踪灵敏度高，还要求它要有适当的粘滞阻尼特性，以防止在启动、制动过程中发生不稳定现象。
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